微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 (GB/T 42158-2023) 国家标准《微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司。
起草人:张硕 、顾枫 、李根梓 、沈俊杰 、俞骁 、周再发 、王敏锐 、贾建国 、许百宏 、许克宇 、王志远 、刘志广 。
此标准描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构,并给出两种结构几何形状的测量示例。此标准中沟槽结构的深度为1μm~100μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5um~150um、深宽比为0.0067~20。棱锥式针结构具有三个或四个面,其高度、横向宽度和纵向宽度为2μm或更大,并且外轮廓尺寸可包含于边长为100μm的立方体内。
此标准适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。