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GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

标准号
GB/T 38447-2020
下载格式
PDF
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-07-01
标准类别
国家标准
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简介

微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 (GB/T 38447-2020) 国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。

起草人:张威 、张亚婷 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、石云波 、李海斌 、程逸轩 、周浩楠 、陈得民 。

此标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。

此标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。

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