微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 (GB/T 38341-2019) 国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：东南大学、华为技术有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、中机生产力促进中心、浙江博亚精密机械有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、北京大学、中北大学、中国科学院电子学研究所、北京必创科技股份有限公司。
起草人：王磊 、黄创君 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、夏长奉 、黄庆安 、龙克文 、石云波 、李海斌 、肖昆辉 、郑凤杰 、张威 、程逸轩 、马书嫏 、陈得民 。
此标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。
此标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。