微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法 (GB/T 34899-2017) 国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中北大学、中机生产力促进中心。
起草人：石云波 、唐军 、程红兵 、崔建功 、李海斌 、朱悦 。
此标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。
此标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。