微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 (GB/T 38446-2020) 国家标准《微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。
起草人:张威 、李海斌 、张亚婷 、朱悦 、夏长奉 、石云波 、陈得民 、马书嫏 、程红兵 、周浩楠 。
此标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
此标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。