蓝宝石单晶位错密度测量方法 (GB/T 33763-2017) 国家标准《蓝宝石单晶位错密度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司。
起草人：薛抗美 、黄修康 、杭寅 、尹继刚 、田野 、张永波 、张毅 。
此标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。
此标准适用于抛光加工后位错密度为0个／cm2~100000个／cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为｛0001)、{1120)、{1012)、{1010｝面。