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GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片

标准号
GB/T 30858-2014
下载格式
PDF
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-04-01
标准类别
国家标准
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简介

蓝宝石单晶衬底抛光片 (GB/T 30858-2014) 国家标准《蓝宝石单晶衬底抛光片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司、浙江上城科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司。

起草人:魏明德 、黄朝晖 、刘逸枫 、杭寅 、徐永亮 、袁忠纯等 。

此标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。 此标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片(以下简称蓝宝石衬底片)。

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