GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片

蓝宝石单晶抛光衬底片 (GB/T 13843-1992) 国家标准《蓝宝石单晶抛光衬底片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：天津半导体技术研究所。

此标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。此标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。