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GB/T 19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

标准号
GB/T 19199-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-12-10
实施日期
2016-07-01
标准类别
国家标准
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简介

半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法 (GB/T 19199-2015) 国家标准《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司、中国电子材料行业协会。

起草人:何秀坤 、李静 、张雪囡 。

此标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。 此标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×10^15 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×10^14atoms/cm3。

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