半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法 (GB/T 19199-2015) 国家标准《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司、中国电子材料行业协会。
起草人:何秀坤 、李静 、张雪囡 。
此标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。 此标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×10^15 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×10^14atoms/cm3。