半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法 (GB/T 17170-2015) 国家标准《半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司、中国电子材料行业协会。
起草人:何秀坤 、李静 、张雪囡 。
此标准规定了半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的红外吸收测试方法。 此标准适用于电阻率大于10^6 Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的测定。 此标准不适用于掺铬半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的测定。