非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法 (GB/T 17170-1997) 国家标准《非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 17170-2015(全部代替)
起草单位:电子工业部第四十六研究所。
此标准规定了非掺杂半绝缘砷化镓单晶及其晶片深能级EL2浓度红外吸收测试方法。此标准适用于电阻率大于10Ω·cm的非掺杂半绝缘砷化镓单晶及其晶片深能级EL2浓度的测定。此标准不适用于掺铬半绝缘砷化镓试样深能级EL2浓度测定。