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GB/T 19199-2003 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

标准号
GB/T 19199-2003
下载格式
PDF
发布日期
2003-06-16
实施日期
2004-01-01
标准类别
国家标准
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简介

半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法 (GB/T 19199-2003) 国家标准《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 19199-2015(全部代替)

起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所。

此标准规定了非掺杂半绝缘砷化镓晶片中碳浓度的红外吸收测试方法。此标准适用于电阻率大于1.0×107 Ω·cm的非掺杂半绝缘砷化镓晶片中碳浓度的测定。可测定的最低碳浓度为4.0×1014 cm-3。

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