GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范

离子注入机通用规范 (GB/T 15862-2012) 国家标准《离子注入机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。

起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所。

起草人：郭健辉 、彭立波 、罗宏洋 。

此标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其它离子注入机亦可参照使用。