GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

离子注入机通用技术条件 (GB/T 15862-1995) 国家标准《离子注入机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。已被标准 GB/T 15862-2012（全部代替）

起草单位：电子工业部第四十八研究所。

此标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。此标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。