微机电系统（MEMS）技术 术语 (GB/T 26111-2010) 国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 26111-2023（全部代替）
起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等。
起草人：丁红宇 、刘伟 、张苹 、崔波等 。
此标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。此标准适用于微机电系统领域的研究、开发，评测和应用。