GB/T 12963-2009 硅多晶

硅多晶 (GB/T 12963-2009) 国家标准《硅多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 12963-2014（全部代替）

起草单位：峨眉半导体材料厂。

起草人：罗莉萍 、张辉坚 、王炎 。

u3000u3000此标准规定了硅多晶的产品分类?﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。 u3000u3000此标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。