GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

硅多晶真空区熔基硼检验方法 (GB/T 4060-2007) 国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。已被标准 GB/T 4060-2018（全部代替）

起草单位：峨眉半导体材料厂。

此标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。此标准检测杂质浓度有效范围：0．002 X 10-9～100X 10-9。