GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

硅多晶气氛区熔基磷检验方法 (GB/T 4059-2007) 国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。已被标准 GB/T 4059-2018（全部代替）

起草单位：蛾眉半导体材料厂。

此标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。此标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。