GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 (GB/T 4061-1983) 国家标准《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 4061-2009（全部代替）

起草单位：峨嵋半导体材料厂。