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SJ 21493-2018 碳化硅外延片表面缺陷测试方法

标准号

SJ 21493-2018

下载格式

PDF

发布日期

2018-12-29

实施日期

2019-03-01

标准类别

行业标准

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简介

碳化硅外延片表面缺陷测试方法 (SJ 21493-2018)

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