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GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法

标准号
GB/T 42789-2023
下载格式
PDF
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
标准类别
国家标准
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简介

硅片表面光泽度的测试方法 (GB/T 42789-2023) 国家标准《硅片表面光泽度的测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、天津中环领先材料技术有限公司、山东有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、广东金湾高景太阳能科技有限公司、浙江旭盛电子有限公司、巢湖学院、金瑞泓科技(衢州)有限公司。

起草人:梁兴勃 、李琴 、张海英 、林松青 、潘金平 、李素青 、张雪囡 、由佰玲 、边永智 、庄智慧 、沈辉辉 、焦二强 、韩云霄 、徐志群 、付明全 、詹玉峰 、王可胜 。

此标准描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。

此标准适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试,不适用于表面有图形的硅片的测试。

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