碳化硅单晶抛光片 (GB/T 30656-2023) 国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。
起草人：陈小龙 、彭同华 、佘宗静 、王波 、刘春俊 、李素青 、郭钰 、娄艳芳 、郑红军 、杨建 、骆红 、钮应喜 。
此标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
此标准适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。