半绝缘型碳化硅单晶衬底 (SJ/T 11864-2022)
此标准规定了半绝缘型碳化硅（SiC）单晶衬底的术语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。
SJ/T 11864-2022 半绝缘型碳化硅单晶衬底
标准号
SJ/T 11864-2022
下载格式
PDF
发布日期
2022-09-30
实施日期
2023-01-01
标准类别
行业标准
半绝缘型碳化硅单晶衬底 (SJ/T 11864-2022)
此标准规定了半绝缘型碳化硅（SiC）单晶衬底的术语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。
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