电子级多晶硅 (GB/T 12963-2022) 国家标准《电子级多晶硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：江苏鑫华半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、新特能源股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、东方电气（乐山）峨半高纯材料有限公司。
起草人：田新 、将文武 、赵培芝 、万首正 、李素青 、秦榕 、王彬 、孙燕 、贺东江 、陈卫群 、宗冰 、徐岩 、邱艳梅 、李斌 、刘晓霞 、张遵 、付绪光 、董先君 、潘金平 、张园园 、雷聪 。
此标准规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
此标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）。