电子级多晶硅 (GB/T 12963-2014) 国家标准《电子级多晶硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 12963-2022（全部代替）
起草单位：峨嵋半导体材料研究所、四川新光硅业科技有限责任公司、有研半导体材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司。
起草人：詹科 、杨旭 、种娜 、黎亚文 、梁洪 、孙燕 、刘晓霞 。
此标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 此标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。