砷化镓单晶位错密度的测试方法 (GB/T 8760-2020) 国家标准《砷化镓单晶位错密度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：有研光电新材料有限责任公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、国合通用测试评价认证股份公司、中国电子科技集团第四十六研究所、广东先导稀材股份有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司。
起草人：赵敬平 、林泉 、于洪国 、惠峰 、刘淑凤 、姚康 、许所成 、许兴 、马英俊 、王彤涵 、赵素晓 、韦圣林 、陈晶晶 、付萍 。
此标准规定了砷化镓单晶位错密度的测试方法。
此标准适用于｛100｝、{111｝面砷化镓单晶位错密度的测试，测试范围为0cm-2~100000cm-2。