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GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告

标准号
GB/T 36401-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-06-07
实施日期
2019-05-01
标准类别
国家标准
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简介

表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告 (GB/T 36401-2018) 国家标准《表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系。

起草人:汤丁亮 、李展平 、岑丹霞 、姚文清 、刘芬 、王水菊 。

此标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量,以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。

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