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GB/T 22571-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准

标准号
GB/T 22571-2017
下载格式
PDF
发布日期
2017-09-07
实施日期
2018-01-01
标准类别
国家标准
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简介

表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准 (GB/T 22571-2017) 国家标准《表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:中国科学院化学研究所、复旦大学。

起草人:赵志娟 、丁训民 、吴扬 、虞玲 、刘芬 、章小余 。

此标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线光电子能谱仪结合能标尺的方法,该谱仪使用非单色化Al或MgX射线或单色化AlX射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。此标准还进一步规定了一种方法,用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95%置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定度。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献,但不涵盖所有可能发生的缺陷。此标准不适用有下述情况的仪器:结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10、谱仪的分辨率差于1.5eV或者要求容差极限为士0.03eV或更小。此标准不提供全标尺校准检验,该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证,需按仪器制造商的推荐程序进行。

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