半导体制造用气体处理指南 (GB/T 34971-2017) 国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院。
起草人：孙福楠 、牛艳东 、廖恒易 、杜汉盛 、王鸿 、方华 、陈鹰 、周鹏云 。
此标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。
此标准适用于半导体制造用气体的处理。