半导体制造设备人机界面规范 (SJ/T 11763-2020) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等
适用于半导体制造设备
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
标准号
SJ/T 11763-2020
下载格式
PDF
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
标准类别
行业标准
半导体制造设备人机界面规范 (SJ/T 11763-2020) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等
适用于半导体制造设备
声明：资源收集自网络无法详细核验或存在错误，仅为个人学习参考使用，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误