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GB/T 29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

标准号
GB/T 29845-2013
下载格式
PDF
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
标准类别
国家标准
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简介

半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则 (GB/T 29845-2013) 国家标准《半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司。

起草人:黄英华 、刘军 、吴良军 、钟华 、周历群 、冯亚彬 。

此标准给出了半导体制造设备(SME)在供应商工厂的最终装配(总装)、包装、运输以及在客户洁净室生产区的拆包和安放等特定活动指南。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于半导体制造设备、独立的组件和部件在供应商工厂的最终装配(总装)、包装和运输以及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程。 u3000u3000 u3000u3000此标准不包含与环境、健康和安全(EHS)相关的特殊要求,也不适用于与晶片粒子或晶片质量(如离子污染度)相关的加工过程规范。

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