电子工业用气体 三氟甲烷 (GB/T 34085-2017) 国家标准《电子工业用气体 三氟甲烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。
起草人：陈熔 、林宇巍 、傅铸红 、杜汉盛 、叶红艳 、牛艳东 、史婉君 、孙福楠 、曲庆 、方华 、王鸿 、崔学文 、周朋云 。
此标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
此标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
分子式：CHF3
相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量）。