蓝宝石衬底用高纯氧化铝 (GB/T 34213-2017) 国家标准《蓝宝石衬底用高纯氧化铝》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 34213-2023(全部代替)
起草单位:四川鑫通新材料有限责任公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、四川鑫炬新兴新光源材料有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司。
起草人:钱幼平 、熊洲 、唐大林 、薛抗美 、黄修康 、侯龙超 、张强 。
此标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。
此标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝(以下简称高纯氧化铝),其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧化铝可参照此标准执行。
高纯氧化铝的分子式为Al2O3,相对分子质量为101.96,晶型为。