蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 (GB/T 31352-2014) 国家标准《蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。
起草人：薛抗美 、魏明德 、黄修康 、杭寅 、林清香 、肖宗杰 。
此标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）翘曲度的测试方法。 此标准适用于直径50.8mm～304.8mm，厚度为不小于200m的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。