蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 (GB/T 30857-2014) 国家标准《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司。
起草人：魏明德 、黄朝晖 、刘逸枫 、杭寅 、徐永亮 。
此标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。此标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。