X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南 (GB/T 31472-2015) 国家标准《X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
起草人：李雨辰 、何秀坤 、刘筠 、刘兵 、李翔 。
此标准规定了X射线光电子能谱（XPS）的荷电控制和荷电基准技术。此标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术，不适用于其他电子激发系统。