俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 (GB/T 31470-2015) 国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
起草人:李雨辰 、何秀坤 、刘筠 、刘兵 、李翔 。
此标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。此标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱:人射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器人口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。