电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材 (GB/T 29658-2013) 国家标准《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC1(全国有色金属标准化技术委员会轻金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司、新疆众和股份有限公司。
起草人:万小勇 、罗俊锋 、廖赞 、尚再艳 、杨华 、朱晓光 、孙秀霖 。
此标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。 此标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。