YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材 (YS/T 1025-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。

起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等

起草人：姚力军、王学泽、丁照崇等

本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。