电子薄膜用高纯钛溅射靶材 (YS/T 893-2013) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司
起草人：何金江、董亭义 等
YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
标准号
YS/T 893-2013
下载格式
PDF
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
标准类别
行业标准
电子薄膜用高纯钛溅射靶材 (YS/T 893-2013) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司
起草人：何金江、董亭义 等
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