半导体单晶晶向测定方法 (GB/T 1555-2009) 国家标准《半导体单晶晶向测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 1555-2023(全部代替)
起草单位:峨嵋半导体材料厂。
起草人:杨旭 、何兰英 。
u3000u3000此标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。 u3000u3000此标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。