半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范 (T/CEMIA 024-2021) 团体名称为中国电子材料行业协会
主要起草人：陈曼、何文兵、苏光都、李宗辉、杜兴林、王文庆、朱旦、徐晓军、朱剑、李晓航、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐
起草单位：锦州佑鑫石英科技有限公司、内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司、宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司、常州裕能石英科技有限公司、江阴龙源石英制品有限公司、江苏中天科技股份有限公司、北京雅博石光照明器材有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司、湖南黎辉新材料科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司。
范围：本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。 本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。
内容简要 本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。