GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 (GB/T 1558-1997) 国家标准《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 1558-2009（全部代替）

起草单位：峨嵋半导体材料厂。