GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

离子束蚀刻机通用技术条件 (GB/T 15861-1995) 国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。已被标准 GB/T 15861-2012（全部代替）

起草单位：电子部长沙半导体工艺设备所。

此标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。此标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。