GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

离子束蚀刻机通用规范 (GB/T 15861-2012) 国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。

起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所。

起草人：陈特超 、周大良 。

此标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。