GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法

硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法 (GB/T 13388-1992) 国家标准《硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 13388-2009（全部代替）

起草单位：北京有色金属研究总院。