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GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

标准号
GB/T 13389-1992
下载格式
PDF
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01
标准类别
国家标准
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简介

掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 (GB/T 13389-1992) 国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 13389-2014(全部代替)

起草单位:峨嵋半导体材料研究所。

此标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。此标准适用于掺杂剂浓度10~10cm(电阻率0.0001~10,000Ω·cm)掺硼硅单晶和10~5×10cm(电阻率0.0002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算,也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

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