GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 (GB/T 4298-1984) 国家标准《半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。

起草单位：有色金属研究总院。

此标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。