GB/T 6616-1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法

半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法 (GB/T 6616-1995) 国家标准《半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 6616-2009（全部代替）

起草单位：上海有色金属研究所。