T/QGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范

高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范 (T/QGCML 4573-2024) 团体名称为全国城市工业品贸易中心联合会

主要起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。

起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司。

内容简要 本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的术语和定义、缩略语、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度超洁净晶圆电化学…